525系列-表面粗糙度和轮廓测量仪特点：

表面粗糙度测量功能：
高分辨力型Z1轴检出器作为标准件提供。Z1轴的Z高显示分辨力为0.0001μm（测量范围为8μm时）。
X轴内置高精度玻璃光栅尺，直接读取X轴移动距离，在搞精度精准定位下，完成间距参数的评价。
检出器测力有4mN和0.75mN可选。
轮廓测量功能：
Z1轴（检出器）上配有高精度弧形光栅尺和新型测臂。高精度弧形光栅尺能直接读取测针

货号

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

★量表面粗糙度时

测量范围

X轴（驱动部

100MM

200MM

Z1轴（检出器）

800μm/80μm/8μm

直线度

（0.05+L/1000）μm L:驱动长度（mm）

0.5μm/200mm

分辨力

Z1轴（检出器

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm），0.0001μm（8μm

测力

0.75mN(机身代码末尾带“-1”的型号)

4N(机身代码末尾带“-2的型号)

测针针尖形状

60°，2μmR(机身代码末尾带“-1”的型号)

90°，5μmR(机身代码末尾带“-1”的型号)

对应尺寸

JIS1982/JIS1994/ JIS2001/ ISO1997/ANSI/VDA

评价参数

Pa,Pq.Psk,Pku,Pp,Pv,Pz,Pt,Pc,PSm,P△q,Pmr(C),Pmr,P&c,Ra,Rc,RSm,R△q,Rmr(C),Rmr,R&c, Wa,Wq.Wsk,Wku,Wp,Wv,Wz,Wt,Wc,WSm,W△q,Wmr(C),Wmr,W&c Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rx,AR,R,，AW,W,Wte,Ry,RyDIN.RzDIN,R3y,R3z,S,HSC,Lo,lr,,△a,λa,λq,Vo,Htp,NR,NCRX,CPM,SR,SAR,NW,SW,SAW

轮廓分析

原始轮廓，粗糙度轮廓，滤波波纹轮廓，波纹轮廓，滚动圆波形原始轮廓，滚动圆波形轮廓，包络残余线，DF轮廓（DIN4776/ISO13565-1）、表面粗糙度MOTIF（包络波纹轮廓在评价MOTIF时显示）

分析图表

负荷曲线,振幅分布曲线，功率谱，自相关，Walsh功率谱，Walsh自相关，分布，倾斜角分布，参数分布（磨损量、重叠在轮廓分析可以用于面积等的原始分析）

曲线补充

zui小平方直线、R面补偿、椭圆补偿、抛物线补偿，双曲线补偿，二次曲线补偿，多顶式补偿（自动或任意2-7次），无补偿

滤波器

高斯滤波器，2CRPC75，2CRPC50，2CR75，2CR50，鲁棒样条滤波器

轮廓测量

测量范围

X轴（驱动部）

100MM

200MM

Z1轴（检出器）

60mm(水平位置±30mm)

直线度

0.8μm/100mm

2μm/200mm

精度

X轴（驱动部）

±（0.8+0.01L）μm L=驱动长度（mm）

±（0.8+0.02L）μm L=驱动长度（mm）

Z1轴（检出器）

SV-C3200系列：±（1.6+（2H）/100）μm SV-C4500系列：±（0.8+（2H）/100）μm

H=水平位置上的测量高度（mm）

分辨力

X轴（驱动部）

0.05μm

Z1轴（检出器）

SV-C3200系列：0.04μm SV-C4500系列：0.02μm

Z2轴（立柱）

1μm

测力

SV-C3200系列：30mN（可调使用重量）

SV-C4500系列：10,20,30,40,50mN (根据软件转换)

测头方向

SV-C3200系列：垂直方向（向上/向下单独测量）

SV-C4500系列：垂直方向（向上/向下根据配重调整）

☆通用时

Z2轴（立柱）移动量

300mm

500mm

300mm

50mm

X轴倾斜角度

±45°

驱动速度

X轴

0-80mm/s外加手动

Z2轴（立柱）

0-30mm/s外加手动

测量速度

0.02-5mm/s